当废气进入等离子光解一体机进化设备内时，先经过等离子体化学反响进程，即电子首先从电场取得能量，经过激起或电离将能量转移到分子或原子中去，取得能量的分子或原子被激起，一起有部分分子被电离，然后成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间彼此磕碰后生成安稳产品和热。(在外加电场的作用下，介质放电发生的很多携能电子炮击污染物分子，使其电离、解离和激起，然后便引发了一系列杂乱的物理、化学反响，使杂乱大分子污染物转变为简略小分子安全物质，或使有毒有害于人体健康的物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，然后使污染物得以降解去除。)
然后部分有机废气再经过损坏、分化、催化氧化把污染气体分化为无毒无害无味气体。选用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改动物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化,可有效地杀灭细菌，将有毒有害于人体健康的物质损坏且改动成为低分子无害物质。在C波段激光影响催化剂涂层发生活性，强化催化氧化作用。在分化进程中发生高能高臭氧UV紫外线光束分化空气中的氧分子发生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，从而发生臭氧。UV+O2O-+O*(活性氧)O+O2O3(臭氧),*臭氧对有机物具有*的氧化作用，对恶臭气体及其它影响性异味有*的铲除作用。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化,裂解恶臭气体中细菌的分子键，损坏细菌的核酸（DNA），再经过臭氧进行氧化反响，*到达脱臭及杀灭菌的意图。
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